| 摘要 |
<p>Die Erfindung beschreibt eine Projektionseinrichtung mit verbessertem Flügkristall-Lichtmodulator. Ein Flüssigkristall-Lichtmodulator umfasst ein halbleitendes Substrat (1) mit Transistoren (2) und Steuerungsschaltungen, eine lichtreflektierende Schicht (4), eine Flüssigkristalleinheit (7), welche zwischen eine Frontplatte (9) mit einer transparenten Deckelektrode (8) und mindestens zwei Pixelelektroden (6) eingebettet ist. Jede Pixeldektrode (6) ist über ein Kontaktloch (10) mit einem Transistor (2) verbunden. Ein Kontaktloch (10), welches die lichtreflektierende Schicht (4) durchläuft, weist zur elektrischen Isolation des elektrisch leitenden Materials innerhalb des Kontaktlochs (10) von der lichtreflektierenden Schicht (4) eine dünne isolierende Wandbeschichtung auf. Es wird außerdem ein Flüssigkristall-Lichtmodulator und ein Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkristall-Lichtmodulators beschrieben. <IMAGE></p> |
