| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING AN L-SHAPED SPACER WITH A DISPOSABLE ORGANIC TOP COATING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG87125(A1) |
申请公布日期 |
2002.03.19 |
| 申请号 |
SG20000003418 |
申请日期 |
2000.06.16 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
YELEHANKA RAMACHANDRAMURTHY PRADEEP;YU JIE;FAN MINGHUI;YAP CHIEW WAH;US5024959 |
| 分类号 |
H01L21/311;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/469 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
