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发明名称 TERTIARY-BUTYL ACRYLATE POLYMERS AND THEIR USE IN PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 SG87210(A1) 申请公布日期 2002.03.19
申请号 SG20010002490 申请日期 2001.04.26
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 SANJAY MALIK;JEFF EISELE;JOHN FERRI;ANDREW J. BLAKENEY
分类号 C08F212/14;C08K5/00;C08L25/18;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F212/14;H01L21/312 主分类号 C08F212/14
代理机构 代理人
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