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发明名称
摘要
申请公布号	JP3266492(B2)	申请公布日期	2002.03.18
申请号	JP19960044578	申请日期	1996.03.01
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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