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发明名称
摘要
申请公布号 JP3266189(B2) 申请公布日期 2002.03.18
申请号 JP19980310847 申请日期 1998.10.30
申请人 发明人
分类号 G06F3/00;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H04L25/02;(IPC1-7):G06F3/00;H01L21/320 主分类号 G06F3/00
代理机构 代理人
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