发明名称 INTERDIGITATED MULTILAYER CAPACITOR STRUCTURE FOR DEEP SUB-MICRON CMOS
摘要
申请公布号 KR20020020906(A) 申请公布日期 2002.03.16
申请号 KR1020017015680 申请日期 2001.12.06
申请人 发明人
分类号 H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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