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发明名称 METHOD OF PROTECTING AN UNDERLYING WIRING LAYER DURING DUAL DAMASCENE PROCESSING
摘要
申请公布号 KR20020020921(A) 申请公布日期 2002.03.16
申请号 KR1020017016608 申请日期 2001.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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