发明名称 VERFAHREN ZUR HANDHABUNG EINER MEHRZAHL VON SCHALTUNGSCHIPS
摘要
申请公布号 AT213566(T) 申请公布日期 2002.03.15
申请号 AT19990944590T 申请日期 1999.09.02
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 PLETTNER, ANDREAS;HABERGER, KARL;LANDESBERGER, CHRISTOF
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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