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发明名称 VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINES MIKROSYSTEMS ODER WANDLERS AUF EIN SUBSTRAT UND NACH DIESEM VERFAHREN HERSTELLBARE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT214476(T) 申请公布日期 2002.03.15
申请号 AT19970946716T 申请日期 1997.12.12
申请人 LABORATORIUM FUER PHYSIKALISCHE ELEKTRONIK 发明人 MAYER, FELIX;PAUL, OLIVIER
分类号 G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/00;G01N27/12;G01N33/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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