| 发明名称 |
Sensor und Herstellunsgverfahren dazu |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69618917(D1) |
申请公布日期 |
2002.03.14 |
| 申请号 |
DE1996618917 |
申请日期 |
1996.12.09 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
MIRZA, ANDREW;SEDDON, KENNETH M. |
| 分类号 |
G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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