摘要 |
<p>Verfahren zur Herstellung von Chlorsilanen unter Verwendng von Silicium, das homogen verteiltes Kupfersilicid enthält. Insbesondere Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan durch Umsetzung dieses Siliciums mit Wasserstoff, Siliciumtetrachlorid gegebenenfalls Chlorwasserstoff.</p> |