| 发明名称 |
Dielektrische Füllung von elektrischen Verdrahtungsebenen und Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Verdrahtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19961103(C2) |
申请公布日期 |
2002.03.14 |
| 申请号 |
DE1999161103 |
申请日期 |
1999.12.17 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
ROGALLI, MICHAEL;KIRCHHOFF, MARKUS;WEGE, STEPHAN |
| 分类号 |
H05K1/03;H01L21/283;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/314 |
主分类号 |
H05K1/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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