Verfahren zur Herstellung einer ferroelektrischen Festkörperschicht unter Verwendung eines Hilfsstoffes

摘要

Es wird zusätzlich zu den die Elemente der abzuscheidenden Festkörperschicht enthaltenden Ausgangsgasen (P) mindestens ein Hilfsstoff (H) in den Reaktionsraum einer Reaktorkammer (10; 20) eingeleitet, welcher Hilfsstoff (H) derart beschaffen ist, daß er Moleküle enthält, die ein Dipolmoment aufweisen und die Eigenschaft haben, sich während des Abscheideprozesses kurzzeitig an der Substratoberfläche mit zu der Substratoberfläche senkrecht im Dipolmoment anzulagern, um somit die Kristallstruktur der aufzuwachsenden Festkörperschicht vorzugeben.