| 发明名称 |
Halbleiterspeichereinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeichereinrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19624698(C2) |
申请公布日期 |
2002.03.14 |
| 申请号 |
DE19961024698 |
申请日期 |
1996.06.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TANAKA, YOSHINORI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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