发明名称 Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Prüfung
摘要
申请公布号 DE19808664(C2) 申请公布日期 2002.03.14
申请号 DE19981008664 申请日期 1998.03.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHOENIGER, SABINE;SCHROEGMEIER, PETER;HEIN, THOMAS;DIETRICH, STEFAN
分类号 G01R31/3185;(IPC1-7):H01L21/66;H01L23/50 主分类号 G01R31/3185
代理机构 代理人
主权项
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