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发明名称 INSPEKTIONSVERFAHREN UND -VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69331515(D1) 申请公布日期 2002.03.14
申请号 DE19936031515 申请日期 1993.11.15
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 YOSHII, MINORU;NOSE, NORIYUKI;MORI, TETSUZO;MIYAZAKI, KYOICHI;TSUJI, TOSHIHIKO;TAKEUCHI, SEIJI
分类号 G01N21/94;G03F7/20;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/94
代理机构 代理人
主权项
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