发明名称 Illuminating und imaging device for a plurality of spectral regions and coordinates measuring machine with a illuminating and imaging device for a plurality of spectral regions
摘要 <p>Eine Beleuchtungs- und Abbildungseinrichtung (2) für mehrere Spektralbereiche umfasst ein Objektiv (21), das eine optische Achse (20) definiert. Ein Strahlteilermodul (32) ist in der optischen Achse (20) angeordnet. Mehrere Lichtquellen (35), von denen jeweils ein Beleuchtungsstrahlengang (35a, 35b, 35c) ausgeht, sind den Strahlteilermodul (32) zugeordnet. Ebenso sind mehrere Detektoren (34), denen jeweils ein Abbildungsstrahlengang (34a, 34b) zugeordnet ist, vorgesehen. Die Beleuchtungsstrahlengänge (35a, 35b, 35c) und die Abbildungsstrahlengänge(34a, 34b) weisen eine gemeinsame optische Wegstrecke auf, in der das Strahlteilermodul (32) angeordnet ist. Die Beleuchtungs- und Abbildungseinrichtung (2) kann vorteilhafter Weise in einer Koordinatenmessmaschine (1) eingesetzt werden. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1186854(A2) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 EP20010120206 申请日期 2001.08.23
申请人 LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH 发明人 MUELLER-RENTZ, ARNOLD
分类号 G01B11/03;G01B11/00;G02B27/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
主权项
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