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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP1186006(A1) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 EP20000937934 申请日期 2000.05.30
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MIKHAYLICH, KATRINA, A.;RAVKIN, MIKE;ANDERSON, DON, E.
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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