| 发明名称 |
Electromagnetic radiation generation using a laser produced plasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU8236101(A) |
申请公布日期 |
2002.03.13 |
| 申请号 |
AU20010082361 |
申请日期 |
2001.08.30 |
| 申请人 |
POWERLASE LIMITED |
发明人 |
ALAN G. TAYLOR;DAVID R. KLUG;IAN P. MERCER;DANIEL A. ALLWOOD |
| 分类号 |
G21K5/00;G03F7/20;G21K5/02;G21K5/08;H01L21/027;H05G2/00;H05H1/24 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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