| 摘要 |
<p>본 발명은 초기에 액체 상태인 시약을 증발된 형태로, 화학 증착 반응기(110) 쪽으로 급송하는 액체 급송 장치(100)를 제공한다. 이 액체 급송 장치는 세장형의 증발 유체 유동 통로(130); 종축을 가로지르는 상기 유체 유동 통로에 내장된 증발 요소(120); 상기 증발 요소(120)의 표면에 수직한 방향으로 액체를 방출하도록 배치된 종단부가 있는 공급원 시약 공급 통로(122); 상기 증발 요소를 가열하는 히터; 증기를 화학 증착 반응기 쪽으로 유동시키고, 비휘발성 잔류물이 화학 증착 반응기 쪽으로 유동하는 것을 방지하는 전환 수단(138)이 포함되는 매니폴드(137)를 포함하고 있다. 액체 급송 장치의 구성 요소를 가열하기 위해 히터 조립체(161, 162, 163, 164)가 사용될 수 있고, 상기 급송 장치는 교체식 증발기 캡(500)을 사용할 수도 있다.</p> |
