Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance,申请号AU20010086661-传众专利搜索

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发明名称	Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance
摘要
申请公布号	AU8666101(A)	申请公布日期	2002.03.13
申请号	AU20010086661	申请日期	2001.08.23
申请人	BOARD OF REGENTS	发明人	MARWAN H. KHATER;LAWRENCE J. OVERZET
分类号	H01J37/32	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
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