Platen for semiconductor workpieces,申请号GB19970019764-传众专利搜索

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发明名称	Platen for semiconductor workpieces
摘要
申请公布号	GB2329515(B)	申请公布日期	2002.03.13
申请号	GB19970019764	申请日期	1997.09.18
申请人	* TRIKON EQUIPMENTS LIMITED	发明人	GORDON ROBERT * GREEN
分类号	H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
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