发明名称 Method to prevent generation of particles by wall-film peeling
摘要
申请公布号 GB2366667(A) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 GB20010007412 申请日期 2001.03.23
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 ATSUSHI * KARIYA
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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