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发明名称 IMPROVED METHODS OF FABRICATING MICROELECTROMECHANICAL AND MICROFLUIDIC DEVICES
摘要
申请公布号 EP1185481(A1) 申请公布日期 2002.03.13
申请号 EP20000941414 申请日期 2000.06.14
申请人 KIONIX, INC. 发明人 MOON, JAMES, E.;DAVIS, TIMOTHY, J.;GALVIN, GREGORY, J.;SHAW, KEVIN, A.;WALDROP, PAUL, C.;WILSON, SHARLENE, A.
分类号 G01N37/00;B01D15/08;B05B5/00;B81B1/00;B81C1/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B81B1/00 主分类号 G01N37/00
代理机构 代理人
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