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发明名称
Depositing a tantalum film
摘要
申请公布号
GB0201590(D0)
申请公布日期
2002.03.13
申请号
GB20020001590
申请日期
2002.01.24
申请人
TRIKON HOLDINGS LIMITED
发明人
分类号
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代理机构
代理人
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