发明名称 DEVICE FOR OPENING/CLOSING SEMICONDUCTOR CONTAINER AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20020019580(A) 申请公布日期 2002.03.12
申请号 KR1020027001106 申请日期 2002.01.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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