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发明名称
摘要
申请公布号
JP3265499(B2)
申请公布日期
2002.03.11
申请号
JP19960255261
申请日期
1996.08.21
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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