FLUORIDE ADDITIVE CONTAINING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY AND METHOD FOR USE OF SAME,申请号IL20010142115-传众专利搜索

发明名称	FLUORIDE ADDITIVE CONTAINING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY AND METHOD FOR USE OF SAME
摘要
申请公布号	IL142115(D0)	申请公布日期	2002.03.10
申请号	IL20010142115	申请日期	2001.03.20
申请人	CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION	发明人
分类号	C09G;(IPC1-7):C09G	主分类号	C09G
代理机构		代理人
主权项
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