发明名称 PROCESS CHAMBER ASSEMBLY WITH REFLECTIVE HOT PLATE
摘要
申请公布号 KR20020019088(A) 申请公布日期 2002.03.09
申请号 KR1020017016169 申请日期 2001.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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