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发明名称 PROCEDE DE SECHAGE D'UN SUBSTRAT SUR UN DISPOSITIF A EFFET CENTRIFUGE
摘要
申请公布号 FR2802626(B3) 申请公布日期 2002.03.08
申请号 FR19990016095 申请日期 1999.12.20
申请人 GIRARDIE LIONEL 发明人 GIRARDIE LIONEL
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):F26B5/14 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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