发明名称 METHOD FOR SEARCHING PATTERN IN WIRE BONDING
摘要 <p>본 발명은 와이어본딩의 상관계수탐색과 경계선탐색을 결합한 정렬패턴의 탐색방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은 와이어본딩을 위한 정렬패턴의 탐색방법에 있어서, 탐색영상을 획득하는 제 1 단계, 상기 탐색영상에서 정렬패턴을 획득하는 제 2 단계, 상기 정렬패턴의 원점으로 사용할 위치를 지정하는 제 3 단계, 상기 정렬패턴에 대한 경계선화소의 위치와 방향을 추출하여 경계선패턴을 형성하는 제 4 단계, 상기 경계선패턴의 경계선화소에 대하여 가능한 원점의 위치를 표현하는 벡터테이블을 형성하는 제 5 단계, 상기 정렬패턴과 상기 벡터테이블을 비교하여 상기 정렬패턴의 가능한 원점 위치에 투표하는 제 6 단계, 상기 투표결과 다수의 표를 얻은 경계선화소를 정렬패턴의 원점으로 결정하는 제 7 단계, 상기 정렬패턴의 탐색과정을 위한 새로운 소자를 입력하는 제 8 단계를 포함하여 이루어진다.</p>
申请公布号 KR100326257(B1) 申请公布日期 2002.03.08
申请号 KR19990065799 申请日期 1999.12.30
申请人 null, null 发明人 이용희
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址