发明名称 Strahlapparat für geladene Teilchen
摘要
申请公布号 DE69613050(T2) 申请公布日期 2002.03.07
申请号 DE19966013050T 申请日期 1996.06.27
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KUROSAKI, TOSHIEI
分类号 H01J37/20;H01J37/22;H01J37/28;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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