Maßstabteil, Verfahren zur Herstellung desselben und Verschiebungs-Meßvorrichtung mit demselben

摘要

Es wird eine Verschiebungs-Meßvorrichtung zur Verfügung gestellt, die wirksam produktiv und einfach anwendbar ist für hochpräzise Messungen von Verschiebung mittels Aufnahme durch Tastspitzen für nach dem Stand der Technik kaum meßbare Bauteile, wie etwa Mikro-Bauteile und tiefe Bereiche in komplizierten Strukturen. Ein Maßstabteil (1) beinhaltet eine Tastspitze (11) und einen Maßstab (12), beide an einem Maßstabträger (15) mit einer parallelen Blattfeder (13) beweglich aufgehängt. Die Tastspitze (11) ist koaxial zu einer Meßachse (x) in dem Maßstabteil (1) angeordnet. Der mittels L & S Verfahren mit einem Spaltenmuster versehene Maßstab (12) ist mit der Tastspitze (11) zusammenhängend aufgebaut und aufgehängt mittels der parallelen Blattfeder (13), um sich zusammen mit der Tastspitze (11) entlang der Meßachse zu bewegen. Die Tastspitze (11), der Maßstab (12) und die parallele Blattfeder (13) sind über eine dazwischenliegende Befestigung (14) der parallelen Blattfeder mit dem Maßstabträger (15) verbunden. Die Tastspitze (11), der Maßstab (12) und die parallele Blattfeder (13) sind als zusammenhängende Struktur ausgebildet und nur die Befestigung (14) hat Berührung mit dem Maßstabträger (15), während die Tastspitze (11), der Maßstab (12) und die parallele Blattfeder (13) geringfügig abgehoben sind vom Maßstabträger (15). Ein Verschiebungsfühler (2) beinhaltet einen Fühlerträger (18), der gegenüber dem Maßstabträger (15) angeordnet ist. Eine Lichtquelle (16) und ein ...