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<p>2중 링형상 게이트 도체(9)는 게이트 전극(2a)에 접속된 제 1 링형상 게이트 도체(7)와, 제 2 링형상 게이트 도체(8)와, 제 1 링형상 게이트 도체(7)와 제 2 링형상 게이트 도체(8)를 접속하는 접속 도체(13)로 구성하고, 제 1 링형상 게이트 도체(7)와 제 2 링형상 게이트 도체(8)와 캐소드 포스트 전극(4)을 자기/상호 인덕턴스에 의한 전압 강하가 같아지도록 구성함으로써, 각 단위 소자(세그먼트)를 통하는 병렬 인덕턴스를 거의 균등화 할수 있어서, 소자 면내의 게이트 전류 분포를 거의 균등화할 수 있다.</p> |
