| 摘要 |
Eine Maschine zur Messung des Oberflächenaufbaus weist einen vertikalen V-Achsenständer auf, einen vertikalen beweglichen Tisch, eine horizontale X-Achsenführung, und ein Gleitstück, das auf dem vertikal beweglichen Tisch angeordnet ist, eine Sonde, die an dem Gleitstück angebracht ist, einen V-Achsendetektor, einen Verschiebungsdetektor, einen X-Achsendetektor, und ein Steuergerät CPU. Das Steuergerät CPU berechnet das Ausmaß einer Biegeverformung in Richtung der X-Achse in der Höhe der X-Achsenführung, aus einem Höhensignal von dem V-Achsendetektor, und einem Verschiebungsbetragssignal von dem X-Achsendetektor, und stellt einen Wert, der durch die Subtraktion des Biegeverformungsbetrages von dem X-Achsenrichtungsverschiebungsbetrag erhalten wird, als eine X-Achsenverschiebung bei der Messung ein.
|
