| 摘要 |
<p>본 발명의 인라인 설비 시스템은 다수의 인라인 설비, 호스트, 다수의 설비 컨트롤러, 마스터 컨트롤러를 포함하며, 다수의 인라인 설비는 기판에 대하여 각각 소정의 작업을 차례대로 수행하고, 호스트는 설비에서 수행될 기판 정보 및 설비에서의 작업 정보를 저장하고 있고, 다수의 설비 컨트롤러는 기판 정보 및 작업 정보에 따라 다수 설비에서의 기판의 작업을 각각 제어하며, 서로 통신을 통해 연결되어 기판에 대한 정보를 서로 공유하고, 호스트는 다수의 설비 컨트롤러와 연결되어 다수의 설비 컨트롤러를 제어하고 설비에서 수행되는 작업 정보를 설비 컨트롤러로부터 수신하여 호스트로 전송하며, 호스트로부터의 기판 정보 및 작업 정보를 해당 설비 컴트롤러로 전송하고, 본 발명의 인라인 설비 시스템 및 제어 방법을 따르면, 인라인 설비의 제어를 용이하게 하고, 인라인 설비의 신뢰도를 높일 수 있다.</p> |
