摘要 |
<p>본 발명은 이트리아와 알루미나 조성의 소결조제가 첨가된 질화규소(SiN) 분말에 환원제로서 탄소 분말을 첨가하여 미분쇄한 후, 성형체를 제조하여 소정의 온도에서 환원처리 후 형성된 액상내의 산소량을 제어함으로써, 강도치나 인성치와 같은 기계적 특성 향상에 유리한 이중 미세 조직을 갖도록 한 강도와 인성이 우수한 질화규소 세라믹 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 소결조제로 이트리아(YO):5.0∼6.0 중량%, 알루미나(AlO):1.0∼2.0 중량%가 첨가된 질화규소 분말에 탄소(C)분말:0.2∼0.9 중량%를 혼합하여 성형체를 제조하는 단계와, 상기 성형체를 1400∼1500℃의 온도에서 탄소환원 처리하는 단계와, 상기 탄소환원 처리된 성형체를 1850℃ 이상의 온도에서 가스압 소결하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |