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发明名称 METHOD FOR VACUUM TREATMENT OF WORKPIECES AND VACUUM TREATMENT FACILITY
摘要
申请公布号 EP1183405(A1) 申请公布日期 2002.03.06
申请号 EP20000910483 申请日期 2000.03.29
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHAEFER, FRANZ, JOSEF;WEINZERL, HELFRIED
分类号 C23C14/54;C23C14/34;C23C14/56;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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