一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器

摘要

本实用新型涉及一种圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器,属于加速度传感器领域。本实用新型特征在于用圆环状压电陶瓷多层膜及叉指电极的结构取代原来的压电陶瓷片,其他结构均不变,而灵敏度可大大提高。环状压电陶瓷多层膜外径8—10mm,内径为3—4mm,厚度70—150μm,层数与每层圆环状厚度有关,每层厚度越小则层数越多,圆环状叠加而成的最佳厚度为2mm。具有结构简单、取代方便、灵敏度和电容量高的优点。

主权项

1.一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的压电加速度传感器，包括质量块和传感器底座、压电陶瓷引线，其特征在于：敏感元件为圆环状压电陶瓷多层膜结构；压电加速度器的结构不变。