发明名称 Micro-bridge structure
摘要
申请公布号 GB0201115(D0) 申请公布日期 2002.03.06
申请号 GB20020001115 申请日期 2000.08.23
申请人 QINETIQ LIMITED 发明人
分类号 G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;G01J5/48;H01L27/14;H01L37/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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