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发明名称 CVD-bekledingswerkwijze ter vervaardiging van lagen en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
摘要
申请公布号 NL194397(C) 申请公布日期 2002.03.04
申请号 NL19890002229 申请日期 1989.09.05
申请人 SCHOTT GLASWERKE 发明人
分类号 C23C16/50;C03C17/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/48;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/50;C23C14/22 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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