Method for manufacturing capacitor

摘要

본 발명은 하부 전극 분리 절연막을 식각 종말점으로 귀금속층을 식각하여 수직한 패턴(Pattern)을 갖는 귀금속 하부 전극을 형성하므로 고유전막의 캐패시터를 형성하기 위한 캐패시터의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 캐패시터의 제조 방법은 하부 전극 분리막을 식각 종말점으로 귀금속층을 식각하여 수직한 패턴을 갖는 귀금속 하부 전극을 형성하므로 고유전막의 캐패시터를 형성하여 소자의 집적도를 향상시키는 특징이 있다.