脉波管冷冻机及应用此冷冻机之低温泵

摘要

一种脉波管冷冻机，其不需使用加热器等，而可维持冷却温度。此脉波管冷冻机系使用该液化温度于脉波管冷冻机之使用温度范围内之气体，作为动作气体。

主权项

1.一种脉波管冷冻机,其使用液化温度于脉波管冷冻机之使用温度范围内之气体作为动作气体。2.如申请专利范围第1项之脉波管冷冻机,其中,动作气体为单质气体或混合气体。3.如申请专利范围第1或2项之脉波管冷冻机,其中,动作气体为氮气。4.一种低温泵,其系应用申请专利范围第1项之脉波管冷冻机。5.如申请专利范围第4项之低温泵,其中,应即于脉波管冷冻机之动作气体为氮气或含氮气之混合气体。图式简单说明:图1:本发明之低温泵之剖面图。图2:对冷端部之热负荷及冷端部温度关系之示意图。