发明名称 SYSTEME D'INTERFEROMETRE ET PROCEDE INTERFEFOMETRIQUE
摘要 Un système d'interféromètre comprend une source de rayonnement (13b), un dispositif (89b, 91 b) pour séparer un faisceau émis en deux faisceaux partiels et pour superposer ensuite ces derniers, et un dispositif de transmission de faisceau (105b) pour diriger les deux faisceaux partiels superposés vers deux structures partiellement réfléchissantes (3b, 5b) disposées à distance l'une de l'autre dans la direction des faisceaux. Une première (3b) des deux structures peut être constituée par le dispositif de transmission de faisceau (105b) lui-même. Un dispositif de changement de chemin de lumière (43b) et un détecteur (129) peuvent également être incorporés pour recevoir une superposition du rayonnement réfléchi en arrière par les deux structures.
申请公布号 FR2813389(A1) 申请公布日期 2002.03.01
申请号 FR20010010953 申请日期 2001.08.21
申请人 CARL ZEISS 发明人 HAUGER CHRISTOPH;POLTINGER WERNER;GEH BERND;MOLLER BEATE
分类号 A61F9/007;G01B9/02;G01B9/023;G01J9/02;G02B3/00;(IPC1-7):G01J9/00 主分类号 A61F9/007
代理机构 代理人
主权项
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