| 发明名称 |
EQUIPEMENT ET PROCEDE DE FABRICATION DE COMPOSANTS OPTIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2798222(B1) |
申请公布日期 |
2002.03.01 |
| 申请号 |
FR19990011189 |
申请日期 |
1999.09.07 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS |
发明人 |
POUMELLEC BERNARD;KHERBOUCHE FARID;CHARPENTIER FRANCOIS |
| 分类号 |
C03C23/00;G02B6/13;(IPC1-7):H01L21/263;H01L21/322 |
主分类号 |
C03C23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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