| 发明名称 |
Micromechanical memory sensor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU744743(B2) |
申请公布日期 |
2002.02.28 |
| 申请号 |
AU19990028072 |
申请日期 |
1999.05.11 |
| 申请人 |
CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY |
发明人 |
MEHRAN MEHREGANY;KENNETH G GOLDMAN;VIJAYAKUMAR R DHULER |
| 分类号 |
G01K5/64;G01L1/04;G01L7/02;G01P15/135;H01H9/20;H01H35/14;H01H35/24;H01H37/52 |
主分类号 |
G01K5/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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