VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROSENSORS MIT MIKROGEFERTIGTEM SILIZIUM,申请号DE19986003377-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROSENSORS MIT MIKROGEFERTIGTEM SILIZIUM
摘要
申请公布号	DE69803377(D1)	申请公布日期	2002.02.28
申请号	DE19986003377	申请日期	1998.05.19
申请人	THALES AVIONICS S.A., VELIZY VILLACOUBLAY	发明人	LEFORT, OLIVIER;THOMAS, ISABELLE
分类号	B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	B81B3/00
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