摘要 |
Eine Vorrichtung (1) dient zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente (2a, 2b) zueinander, insbesondere zweier Trägerelemente für optische Elemente, wie Spiegel oder Linsen, insbesondere als Axial- und/oder Winkel-Manipulator für Lithographie-Objektive. Die Bauelemente (2a, 2b) sind über eine Krafteinwirkung (F, T) zueinander verstellbar. Jedes der Bauelemente (2a, 2b) weist wenigstens drei Gelenke (4a, 4b, 4c, 4d; 5a, 5b, 5c, 5d) auf. Jedes der Gelenke (4a, 4b, 4c, 4d) des einen Bauelements (2a) ist über jeweils ein Hebelelement (6a, 6b, 6c, 6d) mit jeweils einem korrespondierenden Gelenk (5a, 5b, 5c, 5d) des jeweils anderen Bauelements (2b) zu einem Gelenkpaar (7a, 7b, 7c, 7d) verbunden. Jedes der Gelenkpaare (7a, 7b, 7c, 7d) ist über jeweils wenigstens einen Hebel (8a, 8b, 8c, 8d, 13, 13') und jeweils wenigstens ein weiteres Gelenk (9, 9'; 9a, 9b, 9a', 9b') mit dem wenigstens einen Hebel (8a, 8b, 8c, 8d, 13, 13') wenigstens eines der benachbarten Gelenkpaare (7a, 7b, 7c, 7d) verbunden.
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