发明名称 Vorrichtung zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente zueinander
摘要 Eine Vorrichtung (1) dient zum Verstellen der Lage zweier Bauelemente (2a, 2b) zueinander, insbesondere zweier Trägerelemente für optische Elemente, wie Spiegel oder Linsen, insbesondere als Axial- und/oder Winkel-Manipulator für Lithographie-Objektive. Die Bauelemente (2a, 2b) sind über eine Krafteinwirkung (F, T) zueinander verstellbar. Jedes der Bauelemente (2a, 2b) weist wenigstens drei Gelenke (4a, 4b, 4c, 4d; 5a, 5b, 5c, 5d) auf. Jedes der Gelenke (4a, 4b, 4c, 4d) des einen Bauelements (2a) ist über jeweils ein Hebelelement (6a, 6b, 6c, 6d) mit jeweils einem korrespondierenden Gelenk (5a, 5b, 5c, 5d) des jeweils anderen Bauelements (2b) zu einem Gelenkpaar (7a, 7b, 7c, 7d) verbunden. Jedes der Gelenkpaare (7a, 7b, 7c, 7d) ist über jeweils wenigstens einen Hebel (8a, 8b, 8c, 8d, 13, 13') und jeweils wenigstens ein weiteres Gelenk (9, 9'; 9a, 9b, 9a', 9b') mit dem wenigstens einen Hebel (8a, 8b, 8c, 8d, 13, 13') wenigstens eines der benachbarten Gelenkpaare (7a, 7b, 7c, 7d) verbunden.
申请公布号 DE10039712(A1) 申请公布日期 2002.02.28
申请号 DE20001039712 申请日期 2000.08.14
申请人 CARL ZEISS 发明人 RAU, JOHANNES;HUMMEL, WOLFGANG;FISCHER, JUERGEN
分类号 G02B7/00;G02B7/02;G02B7/182;(IPC1-7):G02B15/14;G02B27/62;H01S5/02 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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