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发明名称 Neues Verfahren zum chemisch mechanischen Polieren von Isolationsschichten aus Silizium oder Silizium enthaltenden Materialien
摘要
申请公布号 DE69709828(D1) 申请公布日期 2002.02.28
申请号 DE19976009828 申请日期 1997.10.07
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 JACQUINOT, ERIC;RIVOIRE, MAURICE
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310;H01L21/306 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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