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发明名称 METHOD FOR THE DETERMINATION OF PHYSICAL PARAMETERS OF THIN FILMS, PREFERABLY PHOTORESIST FILMS, VIA THE MEASUREMENT OF THEIR WAVEGUIDING PARAMETERS
摘要
申请公布号 HU9904541(A2) 申请公布日期 2002.02.28
申请号 HU19990004541 申请日期 1999.12.09
申请人 MTA MUESZAKI FIZIKAI ES ANYAGTUDOMANYI KUTATO INTEZET 发明人 HAMORI ANDRAS
分类号 G02B6/13 主分类号 G02B6/13
代理机构 代理人
主权项
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